Kính hiển vi SEM

Kính hiển vi điện tử quét (SEM – scanning electron microscope) là loại kính hiển vi điện tử, được thiết kế để nghiên cứu trực tiếp bề mặt của các vật thể rắn, sử dụng chùm electron tập trung có năng lượng tương đối thấp làm đầu dò electron được quét theo cách đều đặn trên mẫu vật. Nguồn electron và thấu kính điện từ của kính hiển vi SEM tạo ra và tập trung chùm tia tương tự như những thấu kính được mô tả cho kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM). Hoạt động của chùm electron kích thích sự phát xạ các electron tán xạ ngược năng lượng cao và các electron thứ cấp năng lượng thấp từ bề mặt của mẫu vật.